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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 怎么掺铜ALN的EDS测试中没有N元素啊
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)

[求助] 怎么掺铜ALN的EDS测试中没有N元素啊 已有1人参与

在做EDS中，ALN薄膜中能测到N元素，但在掺杂铜后，就测不到N元素了，求解答啊？薄膜上面都没有镀金的，所以做SEM基本看不出形貌，但应该不会影响EDS测试的啊！希望大家给出个方法啊！
    谢谢咯！
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你相信，你行的
1楼 2012-11-17 22:06:24
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傲天猴儿

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

lzAlN掺杂铜是什么目的？降低电阻率吗？还是有别的用途。至于检测不到N,可能还是因为是轻元素的原因吧，lz测试前后是同一台检测仪器吗？
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4楼2016-03-25 11:07:04
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叶小猪儿

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
N元素是轻元素，在有其他重元素时，EDS中本来就不容易检测不到。我做的TIN从来你都检测不到N。可能是这方面的原因吧。
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2楼2012-11-18 09:02:20
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 叶小猪儿 at 2012-11-18 09:02:20
N元素是轻元素，在有其他重元素时，EDS中本来就不容易检测不到。我做的TIN从来你都检测不到N。可能是这方面的原因吧。

那你用什么方法检测呢？xps应该可以吧！
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你相信，你行的
3楼2012-11-18 09:46:30
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