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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)

[求助] 怎么掺铜ALN的EDS测试中没有N元素啊 已有1人参与

在做EDS中,ALN薄膜中能测到N元素,但在掺杂铜后,就测不到N元素了,求解答啊?薄膜上面都没有镀金的,所以做SEM基本看不出形貌,但应该不会影响EDS测试的啊!希望大家给出个方法啊!
    谢谢咯!
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你相信,你行的
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叶小猪儿

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
N元素是轻元素,在有其他重元素时,EDS中本来就不容易检测不到。我做的TIN从来你都检测不到N。可能是这方面的原因吧。
2楼2012-11-18 09:02:20
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 叶小猪儿 at 2012-11-18 09:02:20
N元素是轻元素,在有其他重元素时,EDS中本来就不容易检测不到。我做的TIN从来你都检测不到N。可能是这方面的原因吧。

那你用什么方法检测呢?xps应该可以吧!
你相信,你行的
3楼2012-11-18 09:46:30
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傲天猴儿

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

lzAlN掺杂铜是什么目的?降低电阻率吗?还是有别的用途。至于检测不到N,可能还是因为是轻元素的原因吧,lz测试前后是同一台检测仪器吗?
4楼2016-03-25 11:07:04
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