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刻蚀的均匀性
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各位大侠：求助下 在计算刻蚀均匀性的时候 刻蚀均匀性＝(最大值－最小值)/2平均值 一般对刻蚀的均匀性有个要求比如±3%或者±5% 这个要求是根据 什么得出来的 |
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