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tianqin

金虫 (小有名气)

[求助] 求助关于SEM成像问题

求助:最近用SEM对薄膜上的晶点进行检测,薄膜的厚度约100um,薄膜为透明聚碳酸酯膜,晶点有可能在表面也可能在膜内(晶点很小,直径<100um),之前用光学纤维镜(×200)下观测到晶点内存在长条状杂质,但是采用SEM却没看到任何东西。因此,怀疑是不是由于SEM扫面不到内部而没有观测到在长条状杂质?若是这样,SEM一般能够看表面多深的距离?
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