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tianqin

金虫 (小有名气)

[求助] 求助关于SEM成像问题

求助：最近用SEM对薄膜上的晶点进行检测，薄膜的厚度约100um，薄膜为透明聚碳酸酯膜，晶点有可能在表面也可能在膜内（晶点很小，直径<100um），之前用光学纤维镜（×200）下观测到晶点内存在长条状杂质，但是采用SEM却没看到任何东西。因此，怀疑是不是由于SEM扫面不到内部而没有观测到在长条状杂质？若是这样，SEM一般能够看表面多深的距离？
  谢谢
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1楼 2012-11-14 22:58:43
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