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铁电材料,镀的顶电极
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| 我做的是铁电材料,在测试铁电性的时候需要镀上顶电极。我用磁控溅射的方法片子上方还盖了掩膜片。掩膜片的规格是:孔的直径是0.2mm,孔边到孔边的距离是0.2mm,厚度是0.1mm。镀上的电极应该是点状的,我这个电极被盖住的部分也有Pt的存在,是连成片的,请哪位大侠给指点一下。 |
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