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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 交流互助 » 铁电材料，镀的顶电极
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨

[求助] 铁电材料，镀的顶电极

我做的是铁电材料，在测试铁电性的时候需要镀上顶电极。我用磁控溅射的方法片子上方还盖了掩膜片。掩膜片的规格是：孔的直径是0.2mm，孔边到孔边的距离是0.2mm，厚度是0.1mm。镀上的电极应该是点状的，我这个电极被盖住的部分也有Pt的存在，是连成片的，请哪位大侠给指点一下。
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1楼 2012-11-10 21:05:31
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨
引用回帖:
2楼: Originally posted by aslanchen at 2012-11-11 00:04:10
说明你的mask（掩膜片）与薄膜之间还有较大的空隙了，你的mask是什么材料？如果很平的话，用胶布粘牢压平就好了。

我的mask是不锈钢的，mask本身是很平，应该是溅射的时候我没压平。
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4楼2012-11-13 07:59:16
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aslanchen

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ant_512: 2012-11-11 11:34:11
ant_512: 金币+1, 应助奖~ 2012-11-11 11:34:40
苦咖啡酸苹果: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-11-13 07:59:28
苦咖啡酸苹果: 金币+5 2013-03-07 08:05:10
说明你的mask（掩膜片）与薄膜之间还有较大的空隙了，你的mask是什么材料？如果很平的话，用胶布粘牢压平就好了。
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2楼2012-11-11 00:04:10
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hilda-zhang

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ant_512: 金币+1, 奖励！ 2012-11-11 18:05:20
苦咖啡酸苹果: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-11-13 08:00:13
苦咖啡酸苹果: 金币+5 2013-03-07 08:05:15
应该是掩膜没有压紧
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3楼2012-11-11 15:52:46
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨
引用回帖:
3楼: Originally posted by hilda-zhang at 2012-11-11 15:52:46
应该是掩膜没有压紧

我想想应该是没压平的缘故。谢谢你！
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5楼2012-11-13 08:00:02
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