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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨

[求助] 铁电材料,镀的顶电极

我做的是铁电材料,在测试铁电性的时候需要镀上顶电极。我用磁控溅射的方法片子上方还盖了掩膜片。掩膜片的规格是:孔的直径是0.2mm,孔边到孔边的距离是0.2mm,厚度是0.1mm。镀上的电极应该是点状的,我这个电极被盖住的部分也有Pt的存在,是连成片的,请哪位大侠给指点一下。
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hilda-zhang

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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ant_512: 金币+1, 奖励! 2012-11-11 18:05:20
苦咖啡酸苹果: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-11-13 08:00:13
苦咖啡酸苹果: 金币+5 2013-03-07 08:05:15
应该是掩膜没有压紧
3楼2012-11-11 15:52:46
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aslanchen

银虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ant_512: 2012-11-11 11:34:11
ant_512: 金币+1, 应助奖~ 2012-11-11 11:34:40
苦咖啡酸苹果: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-11-13 07:59:28
苦咖啡酸苹果: 金币+5 2013-03-07 08:05:10
说明你的mask(掩膜片)与薄膜之间还有较大的空隙了,你的mask是什么材料?如果很平的话,用胶布粘牢压平就好了。
2楼2012-11-11 00:04:10
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨

引用回帖:
2楼: Originally posted by aslanchen at 2012-11-11 00:04:10
说明你的mask(掩膜片)与薄膜之间还有较大的空隙了,你的mask是什么材料?如果很平的话,用胶布粘牢压平就好了。

我的mask是不锈钢的,mask本身是很平,应该是溅射的时候我没压平。
4楼2012-11-13 07:59:16
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苦咖啡酸苹果

金虫 (小有名气)

笨笨

引用回帖:
3楼: Originally posted by hilda-zhang at 2012-11-11 15:52:46
应该是掩膜没有压紧

我想想应该是没压平的缘故。谢谢你!
5楼2012-11-13 08:00:02
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