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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » AFM能否测定薄膜的厚度？
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reform2007

金虫 (小有名气)

[交流] AFM能否测定薄膜的厚度？

AFM能否测定薄膜的厚度？如何测定？
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1楼 2007-07-02 10:51:04
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shiningx

荣誉版主 (知名作家)

小木虫模范教师
我是专门搞过AFM的，用的是DI的机器，别的我不敢说。
可以负责的告诉你，可以。但是因为AFM数据需要flattern，而且一般需要人为的做出台阶来，台阶不是很平整规则，所以测量的误差可能很大！而且有的台阶可能还没有办法测量，具体原因不好说清楚。建议楼主改用其他方法，比如台阶仪，X射线等等。
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这个家伙很懒，什么也没有留下
9楼2007-07-18 06:46:18
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anselnew

木虫 (正式写手)
scan the cross section of the film
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铁电材料QQ群：16441273 欢迎做铁电材料的虫子加入
2楼2007-07-02 11:37:47
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silveruranus

铁虫 (正式写手)
AFM 好像不能测Cross Section，用TEM应该可以的。。。
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3楼2007-07-02 12:41:59
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lyfdoctor

铜虫 (小有名气)
不能够测定膜的厚度
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4楼2007-07-02 19:24:25
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