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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » AFM能否测定薄膜的厚度？
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reform2007

金虫 (小有名气)

[交流] AFM能否测定薄膜的厚度？

AFM能否测定薄膜的厚度？如何测定？
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1楼 2007-07-02 10:51:04
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anselnew

木虫 (正式写手)
scan the cross section of the film
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2楼2007-07-02 11:37:47
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silveruranus

铁虫 (正式写手)
AFM 好像不能测Cross Section，用TEM应该可以的。。。
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3楼2007-07-02 12:41:59
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lyfdoctor

铜虫 (小有名气)
不能够测定膜的厚度
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4楼2007-07-02 19:24:25
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anselnew

木虫 (正式写手)
scan the cross section of the film

能用，我见过别人的图
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5楼2007-07-02 21:06:03
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wanghuan83214

木虫 (职业作家)

是可以的

先用细针在薄膜表面画一道痕
然后扫划痕的两侧即可
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穷则独善其身 达则兼济天下
6楼2007-07-17 02:38:52
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pinguo

铁杆木虫 (著名写手)
可以粗略的测量厚度。不过，一般来说，边界处不会很平滑的，所以只能粗略的估计薄膜的厚度！
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7楼2007-07-17 03:45:17
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dream_lover999

铜虫 (正式写手)
不过你的膜没有完全覆盖载体就可以测了
不过最好的还是SEM或者TEM
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8楼2007-07-17 06:09:07
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shiningx

荣誉版主 (知名作家)

小木虫模范教师
我是专门搞过AFM的，用的是DI的机器，别的我不敢说。
可以负责的告诉你，可以。但是因为AFM数据需要flattern，而且一般需要人为的做出台阶来，台阶不是很平整规则，所以测量的误差可能很大！而且有的台阶可能还没有办法测量，具体原因不好说清楚。建议楼主改用其他方法，比如台阶仪，X射线等等。
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这个家伙很懒，什么也没有留下
9楼2007-07-18 06:46:18
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reform2007

金虫 (小有名气)
谢谢大家的意见
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10楼2007-07-20 22:34:33
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