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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 请教：多晶硅棒材的杂质分布
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gftian2008

银虫 (小有名气)

[交流] 请教：多晶硅棒材的杂质分布

请教一个问题：

如果想检测多晶硅棒材一边到另一边杂质元素的分布情况，如何检测？用什么方法呢？先谢谢了。多晶硅纯度99。99~99.999%，
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1楼 2007-07-01 14:14:46
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gftian2008

银虫 (小有名气)

紧急求助，有那么大虾知道或了解告知一二。

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4楼2007-07-04 14:34:50
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bianzhf

木虫 (正式写手)
杂质是什么？如果只是杂元素，测的方法有很多，比如荧光分析，TEM中的（面扫描）maping，EDX等！！！
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2楼2007-07-01 15:18:08
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gftian2008

银虫 (小有名气)

杂质元素种类较多

杂质元素种类较多，如P、B、Sb、C、Al、Fe、Cu、O、Ti、Cr等。主要想测试温度梯度对其分布情况的影响。
想得到两种结果：
1，检测是何种杂质
2. ，杂质以什么方式存在？如碳化物，氧化物还是单质等。
谢谢！
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3楼2007-07-02 14:24:38
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