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gftian2008

银虫 (小有名气)

[交流] 请教:多晶硅棒材的杂质分布

请教一个问题:

如果想检测多晶硅棒材一边到另一边杂质元素的分布情况,如何检测?用什么方法呢?先谢谢了。多晶硅纯度99。99~99.999%,
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bianzhf

木虫 (正式写手)

杂质是什么?如果只是杂元素,测的方法有很多,比如荧光分析,TEM中的(面扫描)maping,EDX等!!!
2楼2007-07-01 15:18:08
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gftian2008

银虫 (小有名气)

杂质元素种类较多

杂质元素种类较多,如P、B、Sb、C、Al、Fe、Cu、O、Ti、Cr等。主要想测试温度梯度对其分布情况的影响。
想得到两种结果:
1,检测是何种杂质
2. ,杂质以什么方式存在?如碳化物,氧化物还是单质等。
谢谢!
3楼2007-07-02 14:24:38
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gftian2008

银虫 (小有名气)

紧急求助,有那么大虾知道或了解告知一二。

紧急求助,有那么大虾知道或了解告知一二。
4楼2007-07-04 14:34:50
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