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ncepuchen

银虫 (正式写手)

[求助] 氧化硅片 镀铝 镀铁

请问在氧化硅片上热蒸发镀的铝需要再用丙酮、乙醇超声清洗吗?会不会损害薄膜?
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yswyx

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
kunpeng1782: 金币+5, MN-EPI+1, 很好的指导 2012-10-28 09:38:38
ncepuchen: 金币+2, ★★★★★最佳答案 2012-10-28 12:41:12
不用再洗了,而且越洗越脏。
热蒸发设备很干净了,而且热蒸发过程中是真空,所以不会有额外的污染源。
很多实验室是不具备标准的RCA清洗硅片的条件的,是不可能把硅片洗干净的。
而且很多实验是居然咋用化学醇优级醇之类的试剂进行清洗,这些非专业的清洗试剂,里面的颗粒是不受控制的,国标里都没有,用它们洗出来的片子,particle沾污会十分严重。
在实验过程中,要保持良好习惯,片子在工艺结束后,要尽快转移到密闭的容器中,比如硅片盒。
如果有需要清洗重复使用硅片,最好是找有标准的RCA清洗的单位代为清洗。
2楼2012-10-28 00:11:55
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