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氧化硅片 镀铝 镀铁
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| 请问在氧化硅片上热蒸发镀的铝需要再用丙酮、乙醇超声清洗吗？会不会损害薄膜？ |
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yswyx 
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【答案】应助回帖
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kunpeng1782: 金币+5, MN-EPI+1, 很好的指导 2012-10-28 09:38:38
ncepuchen: 金币+2, ★★★★★最佳答案 2012-10-28 12:41:12
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不用再洗了，而且越洗越脏。 热蒸发设备很干净了，而且热蒸发过程中是真空，所以不会有额外的污染源。 很多实验室是不具备标准的RCA清洗硅片的条件的，是不可能把硅片洗干净的。 而且很多实验是居然咋用化学醇优级醇之类的试剂进行清洗，这些非专业的清洗试剂，里面的颗粒是不受控制的，国标里都没有，用它们洗出来的片子，particle沾污会十分严重。 在实验过程中，要保持良好习惯，片子在工艺结束后，要尽快转移到密闭的容器中，比如硅片盒。 如果有需要清洗重复使用硅片，最好是找有标准的RCA清洗的单位代为清洗。 |
2楼2012-10-28 00:11:55
