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qingqiu

银虫 (小有名气)

[求助] 氧化锌方块电阻

尝试用溶胶-凝胶的方法,在Si/SiO2的基底上旋涂ZnO前驱体,从而制备ZnO-TFT,但是做得ZnO半导体层一直测不出来方块电阻,有没有哪位大侠遇到过这种情况的?这种情况的原因是什么?一直找不到原因……谢谢谢谢!!!

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少说话多做事
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zjuxwy

禁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
qingqiu: 金币+5, 博学EPI+1, 有帮助 2012-10-25 16:31:30
擦,现在就做这个,是用四探针测量吗
电阻太大,所以测不出了
2楼2012-10-25 00:11:44
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qingqiu

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjuxwy at 2012-10-25 00:11:44
擦,现在就做这个,是用四探针测量吗
电阻太大,所以测不出了

是啊,是用四探针法,做了好多次,一直测不出来,不知道你有没有好的方法来降低电阻
少说话多做事
3楼2012-10-25 08:42:32
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zjuxwy

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

4楼2012-10-25 16:20:38
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qingqiu

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by zjuxwy at 2012-10-25 16:20:38
可以 annealing 试试看
但four point probe 对电阻高一些的材料,很难测出来

嗯,经过退火后的样品,呵呵,谢谢你哦
少说话多做事
5楼2012-10-25 16:32:11
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