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本帖产生 1 个博学EPI ，点击这里进行查看

qingqiu

银虫 (小有名气)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 599.1
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在线: 94.9小时
虫号: 1476650
注册: 2011-11-04
性别: MM
专业: 半导体材料

[求助] 氧化锌方块电阻

尝试用溶胶-凝胶的方法，在Si/SiO2的基底上旋涂ZnO前驱体，从而制备ZnO-TFT，但是做得ZnO半导体层一直测不出来方块电阻，有没有哪位大侠遇到过这种情况的？这种情况的原因是什么？一直找不到原因……谢谢谢谢！！！

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少说话多做事

1楼 2012-10-24 20:23:03

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zjuxwy

禁虫 (小有名气)

博学EPI: 1
应助: 2 (幼儿园)
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红花: 2
帖子: 88
在线: 223.3小时
虫号: 1742144
注册: 2012-04-07
性别: GG
专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
qingqiu: 金币+5, 博学EPI+1, ★有帮助 2012-10-25 16:31:30

擦，现在就做这个，是用四探针测量吗
电阻太大，所以测不出了

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2楼2012-10-25 00:11:44

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qingqiu

银虫 (小有名气)

应助: 6 (幼儿园)
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注册: 2011-11-04
性别: MM
专业: 半导体材料

引用回帖:

2楼: Originally posted by zjuxwy at 2012-10-25 00:11:44
擦，现在就做这个，是用四探针测量吗
电阻太大，所以测不出了

是啊，是用四探针法，做了好多次，一直测不出来，不知道你有没有好的方法来降低电阻

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少说话多做事

3楼2012-10-25 08:42:32

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zjuxwy

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

4楼2012-10-25 16:20:38

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qingqiu

银虫 (小有名气)

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专业: 半导体材料

引用回帖:

4楼: Originally posted by zjuxwy at 2012-10-25 16:20:38
可以 annealing 试试看
但four point probe 对电阻高一些的材料，很难测出来

嗯，经过退火后的样品，呵呵，谢谢你哦

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少说话多做事

5楼2012-10-25 16:32:11

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