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本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看

qingqiu

银虫 (小有名气)

[求助] 氧化锌方块电阻

尝试用溶胶-凝胶的方法，在Si/SiO2的基底上旋涂ZnO前驱体，从而制备ZnO-TFT，但是做得ZnO半导体层一直测不出来方块电阻，有没有哪位大侠遇到过这种情况的？这种情况的原因是什么？一直找不到原因……谢谢谢谢！！！
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少说话多做事
1楼 2012-10-24 20:23:03
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zjuxwy

禁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
qingqiu: 金币+5, 博学EPI+1, ★有帮助 2012-10-25 16:31:30
擦，现在就做这个，是用四探针测量吗
电阻太大，所以测不出了
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2楼2012-10-25 00:11:44
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qingqiu

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zjuxwy at 2012-10-25 00:11:44
擦，现在就做这个，是用四探针测量吗
电阻太大，所以测不出了

是啊，是用四探针法，做了好多次，一直测不出来，不知道你有没有好的方法来降低电阻
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少说话多做事
3楼2012-10-25 08:42:32
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zjuxwy

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2012-10-25 16:20:38
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qingqiu

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zjuxwy at 2012-10-25 16:20:38
可以 annealing 试试看
但four point probe 对电阻高一些的材料，很难测出来

嗯，经过退火后的样品，呵呵，谢谢你哦
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少说话多做事
5楼2012-10-25 16:32:11
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