| 查看: 862 | 回复: 3 | |||
lcwest1390铁虫 (初入文坛)
|
[求助]
旋转涂膜，有中心圆产生，为什么？
|
| 请教各位：我使用甲苯作为溶剂，硅片作为substrate，涂photoresist上去。可是结果发现中心总是有颜色与周围不同的圆存在。把photoresist浓度提高，中心圆消失。以前涂膜从来没有遇到过这种情况，都是颜色很均匀的一片。请问各位有遇到过这种问题的么？有什么解决方法吗？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 涂膜 |
» 猜你喜欢
重要消息，中午系统在维护
已经有5人回复
-
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有101人回复
-
时间戳又变了8-15
已经有26人回复
-
售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
今天维护系统维护 祝所有人 高中
已经有9人回复
-
哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？
已经有16人回复
-
2027广东省杰青
已经有8人回复
-
快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。
已经有5人回复
-
投稿咨询
已经有5人回复
-
时间戳变了，能看出什么问题？
已经有6人回复
ppzuo
金虫 (著名写手)
- PEPI: 1
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 6274.2
- 红花: 5
- 帖子: 1200
- 在线: 299.2小时
- 虫号: 1358744
- 注册: 2011-08-01
- 性别: GG
- 专业: 高分子合成化学
2楼2012-10-18 13:39:04
lcwest1390
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2.8
- 帖子: 20
- 在线: 6.9小时
- 虫号: 932632
- 注册: 2009-12-24
- 性别: GG
- 专业: 高分子材料结构与性能
3楼2012-10-21 09:53:38
ppzuo
金虫 (著名写手)
- PEPI: 1
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 6274.2
- 红花: 5
- 帖子: 1200
- 在线: 299.2小时
- 虫号: 1358744
- 注册: 2011-08-01
- 性别: GG
- 专业: 高分子合成化学
4楼2012-10-22 19:37:09
