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lcwest1390铁虫 (初入文坛)
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旋转涂膜，有中心圆产生，为什么？
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| 请教各位：我使用甲苯作为溶剂，硅片作为substrate，涂photoresist上去。可是结果发现中心总是有颜色与周围不同的圆存在。把photoresist浓度提高，中心圆消失。以前涂膜从来没有遇到过这种情况，都是颜色很均匀的一片。请问各位有遇到过这种问题的么？有什么解决方法吗？ |
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 涂膜 |
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