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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 成型加工 » 旋转涂膜，有中心圆产生，为什么？
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lcwest1390

铁虫 (初入文坛)

[求助] 旋转涂膜，有中心圆产生，为什么？

请教各位：我使用甲苯作为溶剂，硅片作为substrate，涂photoresist上去。可是结果发现中心总是有颜色与周围不同的圆存在。把photoresist浓度提高，中心圆消失。以前涂膜从来没有遇到过这种情况，都是颜色很均匀的一片。请问各位有遇到过这种问题的么？有什么解决方法吗？
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1楼 2012-10-18 05:51:04
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ppzuo

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
颜色不同是薄膜干涉产生的，英文名称是chuck mark, 增加成膜液浓度以提高膜厚就不明显了，或者可以高沸点溶剂，增加流平时间~
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Behungry,befoolish
2楼2012-10-18 13:39:04
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lcwest1390

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ppzuo at 2012-10-18 13:39:04
颜色不同是薄膜干涉产生的，英文名称是chuck mark, 增加成膜液浓度以提高膜厚就不明显了，或者可以高沸点溶剂，增加流平时间~

那请问颜色的不同在这里不说明膜厚度不同吧？
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3楼2012-10-21 09:53:38
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ppzuo

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
lcwest1390: 金币+1, ★★★很有帮助 2012-10-25 02:45:23
溶剂高速挥发导致的流平问题~~
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Behungry,befoolish
4楼2012-10-22 19:37:09
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