| 查看: 793 | 回复: 3 | |||
lcwest1390铁虫 (初入文坛)
|
[求助]
旋转涂膜,有中心圆产生,为什么?
|
| 请教各位:我使用甲苯作为溶剂,硅片作为substrate,涂photoresist上去。可是结果发现中心总是有颜色与周围不同的圆存在。把photoresist浓度提高,中心圆消失。以前涂膜从来没有遇到过这种情况,都是颜色很均匀的一片。请问各位有遇到过这种问题的么?有什么解决方法吗? |
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
涂膜 |
» 猜你喜欢
2026年面上项目中了,2A+B, 会评顺利通过
已经有11人回复
大龄残疾硕士的一点执念
已经有19人回复
今年E04面上
已经有19人回复
刑法学论文投稿求助
已经有5人回复
Journal of Environmental Chemical Engineering
已经有3人回复
最后一年,祈求好运
已经有3人回复
风电环氧领域
已经有3人回复
售T0P一区SCI文章,我:8O5.51.O.54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
植酸TLC薄层色谱爬板
已经有6人回复
ppzuo
金虫 (著名写手)
- PEPI: 1
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 6274.2
- 红花: 5
- 帖子: 1200
- 在线: 299.2小时
- 虫号: 1358744
- 注册: 2011-08-01
- 性别: GG
- 专业: 高分子合成化学

2楼2012-10-18 13:39:04
lcwest1390
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2.8
- 帖子: 20
- 在线: 6.9小时
- 虫号: 932632
- 注册: 2009-12-24
- 性别: GG
- 专业: 高分子材料结构与性能
3楼2012-10-21 09:53:38
ppzuo
金虫 (著名写手)
- PEPI: 1
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 6274.2
- 红花: 5
- 帖子: 1200
- 在线: 299.2小时
- 虫号: 1358744
- 注册: 2011-08-01
- 性别: GG
- 专业: 高分子合成化学

4楼2012-10-22 19:37:09











回复此楼