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0605102034

铜虫 (著名写手)

[求助] 沉积金刚石薄膜前对硅片的研磨材料

问问各位大侠,知道做金刚石薄膜时,先前对硅片用金刚石微粉进行研磨处理,用来促进形核时,是在什么材料上进行研磨的啊?这种材料一般是在哪儿买的,谢谢!
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
第一次听说硅片还要研磨
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
4楼2012-10-16 23:01:35
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查看全部 9 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-16 07:48:14
为什么要研磨?标准硅片表面的粗糙度和平面度已经很好了啊?我以前看别人镀类金刚石薄膜,没见过他们要研磨啊?
硅片的磨片都是有专门的磨片设备的,一般都叫磨片机,还有抛光机,具体什么样的设备能胜任,要看你的研磨要求。上面硅片上的那个东西,是叫研磨盘或者抛光盘,上面有一层抛光垫是和硅片接触的,有点类似毛毡。
2楼2012-10-15 14:38:01
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0605102034

铜虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-15 14:38:01
为什么要研磨?标准硅片表面的粗糙度和平面度已经很好了啊?我以前看别人镀类金刚石薄膜,没见过他们要研磨啊?
硅片的磨片都是有专门的磨片设备的,一般都叫磨片机,还有抛光机,具体什么样的设备能胜任,要看你的 ...

进行研磨的目的是为了促进形核!
3楼2012-10-15 20:45:40
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明于小芬

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我公司是用研磨机用80目的金刚石微粉进行研磨,研磨后别忘记用10%的盐酸浸泡半个小时,然后用去离子水清洗一下就好。
也可使用0.125的金刚石微粉在羊皮纸上进行研磨。
5楼2013-04-07 13:59:03
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