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0605102034

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[求助] 沉积金刚石薄膜前对硅片的研磨材料

问问各位大侠，知道做金刚石薄膜时，先前对硅片用金刚石微粉进行研磨处理，用来促进形核时，是在什么材料上进行研磨的啊？这种材料一般是在哪儿买的，谢谢！

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1楼 2012-10-15 11:03:50

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yswyx

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【答案】应助回帖

★
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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-16 07:48:14

为什么要研磨？标准硅片表面的粗糙度和平面度已经很好了啊？我以前看别人镀类金刚石薄膜，没见过他们要研磨啊？
硅片的磨片都是有专门的磨片设备的，一般都叫磨片机，还有抛光机，具体什么样的设备能胜任，要看你的研磨要求。上面硅片上的那个东西，是叫研磨盘或者抛光盘，上面有一层抛光垫是和硅片接触的，有点类似毛毡。

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2楼2012-10-15 14:38:01

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引用回帖:

2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-15 14:38:01
为什么要研磨？标准硅片表面的粗糙度和平面度已经很好了啊？我以前看别人镀类金刚石薄膜，没见过他们要研磨啊？
硅片的磨片都是有专门的磨片设备的，一般都叫磨片机，还有抛光机，具体什么样的设备能胜任，要看你的 ...

进行研磨的目的是为了促进形核！

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3楼2012-10-15 20:45:40

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