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fenixzasz

银虫 (初入文坛)

[交流] 氧化锡旋涂退火遇到的问题 已有3人参与

基片是FTO,旋涂的膜是氧化锡
      前驱体液中有乙醇,柠檬酸。
      前驱体液目前制备的已经没什么问题了,而且旋涂的膜也附着力也较好,很均匀,我涂了三层膜,但是退火是选用的是箱式炉,在500度,550度,分别做过退火10分钟。
(1)有做过把从0开始升温,直至500度,保温10分钟,然后随炉冷却。
(2)也有做过,先将炉子升温至550度,然后才将试片放入,保温十分钟取出。



得到的结果都是膜发生焦黑,感觉像是大面积的被碳化,而且碳化的区域也没有开裂的痕迹,也是很完整的一片,原先的膜是透明的。
个人分析:
有可能是前驱体液中的有机物碳化后,没有及时和空气中的氧气氧化。残留在表面。或许要提升下温度,适当的通入些氧气进去。



求诸位对退火比较熟悉的大侠,给点提示,说说退火该注意什么,
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wu1008

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by fenixzasz at 2012-10-12 08:35:45
能具体解释下不??...

经验而以,不知道所以然
7楼2012-10-12 10:15:58
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
膜太厚了吧,曾经试过降低转速得到厚点的膜,结果就是你说的情况,碳化了。提高转速膜薄点就好了
2楼2012-10-11 15:23:56
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fenixzasz

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 鹰羽龙 at 2012-10-11 15:23:56
膜太厚了吧,曾经试过降低转速得到厚点的膜,结果就是你说的情况,碳化了。提高转速膜薄点就好了

2层膜,不怎么厚吧,如果是单层膜的话很容易发生开裂的,转速我选的1000/3500 r  分别10/30s
3楼2012-10-11 15:44:28
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wu1008

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有柠檬酸的前驱体都让人比较崩溃
4楼2012-10-11 18:22:49
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