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氧化锡旋涂退火遇到的问题 已有3人参与
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基片是FTO，旋涂的膜是氧化锡 前驱体液中有乙醇，柠檬酸。 前驱体液目前制备的已经没什么问题了，而且旋涂的膜也附着力也较好，很均匀，我涂了三层膜，但是退火是选用的是箱式炉，在500度，550度，分别做过退火10分钟。 （1）有做过把从0开始升温，直至500度，保温10分钟，然后随炉冷却。 （2）也有做过，先将炉子升温至550度，然后才将试片放入，保温十分钟取出。 得到的结果都是膜发生焦黑，感觉像是大面积的被碳化，而且碳化的区域也没有开裂的痕迹，也是很完整的一片，原先的膜是透明的。 个人分析： 有可能是前驱体液中的有机物碳化后，没有及时和空气中的氧气氧化。残留在表面。或许要提升下温度，适当的通入些氧气进去。 求诸位对退火比较熟悉的大侠，给点提示，说说退火该注意什么， |
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鹰羽龙
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wu1008
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