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未掺杂微晶硅薄膜的光学带隙在什么范围?
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11lywang
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未掺杂微晶硅薄膜的光学带隙在什么范围?
未掺杂微晶硅薄膜的光学带隙在什么范围? 有人说跟多晶硅和单晶硅薄膜差不多(1.1ev左右),又有人说微晶硅薄膜的光学带隙比非晶硅(1.7~1.8ev)和单晶硅的都要大得多,究竟哪个对?
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1楼
2012-10-07 22:05:41
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avgon
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【答案】应助回帖
推荐参考这篇文献
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2012-10-08 15:23:09
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avgon
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【答案】应助回帖
从原理上来讲,多晶硅也可以是由微晶硅组成,所以能隙应该与多晶硅类似,但是如果微晶硅的颗粒尺寸小于其玻尔半径,就具有了量子尺寸效应,这势必会导致能带的偏移,相应的光谱也自然会移动,应该是蓝移,即能带展宽。也就是说达到了硅的玻尔半径尺寸的微晶硅因为具有了量子尺寸效应,会具有比单晶硅更大的能隙。
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仰望星空脚踏实地
2楼
2012-10-08 15:17:26
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wysanxing
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
参看文献:CHANGES IN THE PROPERTIES OF GLOW-DISCHARGE-DEPOSITED
MICROCRYSTALLINE SILICON FILMS WITH THICKNESS
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4楼
2012-12-10 11:11:43
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