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氧化铟薄膜XRD测试
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用旋涂做了无掺杂氧化铟薄膜，厚度大概200nm左右，没有掠角XRD，就用了siemens D5005粉末衍射仪测了XRD，步长0.02度，每个点停留4秒，得到了如图所示图谱，峰整体向小角移动，高斯拟合之后算出来大概位移0.3度。玻璃样品放进样品台之后表面比样品台凹槽表面高度低不少，但是据说如果这样的话应该是向大角移动。求解释啊? New Image.JPG |
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