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关于Atomic Layer Deposition（原子层沉积技术）的一篇综述
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原子层沉积技术是一层一层将原子沉积在底物上的技术，它最大的优势是可以在原子级别上控制沉积膜的形成以及生长以及对于深宽比很高的材料比如沸石都有着很好的沉积性。利用它，可以极好的复制材料的三维结构。 这篇综述介绍了ALD的原理、发展以及不同类别底物的ALD，个人感觉比较容易读懂。  未命名.jpg |
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