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cuilin0512

木虫 (著名写手)

[求助] 哪里能做反应离子刻蚀(RIE)铝膜?

大家好,不知道哪里能做反应离子刻蚀(RIE)铝膜?希望大家提供能加工的地方,谢谢!
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开开心心每一天!
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

al 是很不好刻蚀的,建议用磷酸加硝酸腐蚀,用resist做掩模,但要烘烤
7楼2012-10-22 22:53:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个到处都有啊。北京的话,半导体所可能方便一点。华东的话,苏州纳米所最方便。

而且,精度要求不高,铝膜不厚的话,配点磷酸腐蚀一下不就好了。
2楼2012-09-28 00:27:13
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723870619

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
楼主在武汉吗?武汉的话,华工的武汉光电国家实验室可以吧,自己去操作就行
好好科研,多发文章,早毕业。
3楼2012-09-28 08:24:54
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cuilin0512

木虫 (著名写手)

哪里能做RIE刻蚀铝膜和扫胶?大家帮忙啊
开开心心每一天!
4楼2012-09-29 09:55:03
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