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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 哪里能做反应离子刻蚀（RIE）铝膜？
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cuilin0512

木虫 (著名写手)

[求助] 哪里能做反应离子刻蚀（RIE）铝膜？

大家好，不知道哪里能做反应离子刻蚀（RIE）铝膜？希望大家提供能加工的地方，谢谢！
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cuilin0512

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开开心心每一天！
1楼 2012-09-27 23:33:10
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个到处都有啊。北京的话，半导体所可能方便一点。华东的话，苏州纳米所最方便。

而且，精度要求不高，铝膜不厚的话，配点磷酸腐蚀一下不就好了。
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2楼2012-09-28 00:27:13
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723870619

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主在武汉吗？武汉的话，华工的武汉光电国家实验室可以吧，自己去操作就行
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好好科研，多发文章，早毕业。
3楼2012-09-28 08:24:54
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cuilin0512

木虫 (著名写手)
哪里能做RIE刻蚀铝膜和扫胶？大家帮忙啊
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开开心心每一天！
4楼2012-09-29 09:55:03
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gamewang

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
cuilin0512: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-12-06 09:29:18
在上海么？我知道哪里有
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微信公众号：zajiadabing
5楼2012-10-22 08:13:05
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
6楼2012-10-22 12:11:59
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

al 是很不好刻蚀的，建议用磷酸加硝酸腐蚀，用resist做掩模，但要烘烤
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7楼2012-10-22 22:53:05
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cuilin0512

木虫 (著名写手)
送鲜花一朵
大家在帮我想想办法，现在急需刻蚀的地方，谢谢虫友！
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开开心心每一天！
8楼2012-12-06 09:31:04
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cuilin0512

木虫 (著名写手)
大家在帮我想想办法，课题就差这一步了，准备毕业，现在急需刻蚀的地方，谢谢虫友！
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开开心心每一天！
9楼2012-12-10 10:34:41
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