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全息光栅工艺 已有2人参与
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| 为什么利用双光束干涉曝光制作全息光栅时，光栅表面总是有很多很规则的类似于牛顿环的圆环？我在石英基片上涂上光刻胶后，利用双光束干涉曝光，显影后发现表面有很多同心圆环，而且很对称。不知道这是什么原因造成的？是不是基片的后表面反射，还是所谓的驻波效应？希望能得到相关同行的知道，万分感激！谢谢 |
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3楼2014-06-16 10:32:34
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
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- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2012-09-25 16:39:28
4楼2014-06-19 01:53:41
