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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 全息光栅工艺
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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 全息光栅工艺 已有2人参与

为什么利用双光束干涉曝光制作全息光栅时，光栅表面总是有很多很规则的类似于牛顿环的圆环？我在石英基片上涂上光刻胶后，利用双光束干涉曝光，显影后发现表面有很多同心圆环，而且很对称。不知道这是什么原因造成的？是不是基片的后表面反射，还是所谓的驻波效应？希望能得到相关同行的知道，万分感激！谢谢
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1楼 2012-09-21 22:57:21
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地咕噜球

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这个应该不是驻波效应，我觉得应该和你两束光斑有关系

你的曝光光束是什么的（平面，球面还是非球的），面积有多大，基底有多大
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3楼2014-06-16 10:32:34
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

基片的后表面反射是很有可能的，你用的是什么波长的光？光刻胶是啥？我建议你可以考虑试用BARC，或者在片子表面沉积一层SiN。
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2楼2012-09-25 16:39:28
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foreverwdp

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你的光斑聚焦了吗？是平行光吗？光斑面积多大？
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4楼2014-06-19 01:53:41
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