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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 全息光栅工艺 已有2人参与

为什么利用双光束干涉曝光制作全息光栅时,光栅表面总是有很多很规则的类似于牛顿环的圆环?我在石英基片上涂上光刻胶后,利用双光束干涉曝光,显影后发现表面有很多同心圆环,而且很对称。不知道这是什么原因造成的?是不是基片的后表面反射,还是所谓的驻波效应?希望能得到相关同行的知道,万分感激!谢谢
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

基片的后表面反射是很有可能的,你用的是什么波长的光?光刻胶是啥?我建议你可以考虑试用BARC,或者在片子表面沉积一层SiN。
2楼2012-09-25 16:39:28
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地咕噜球

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这个应该不是驻波效应,我觉得应该和你两束光斑有关系

你的曝光光束是什么的(平面,球面还是非球的),面积有多大,基底有多大
3楼2014-06-16 10:32:34
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foreverwdp

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你的光斑聚焦了吗?是平行光吗?光斑面积多大?
4楼2014-06-19 01:53:41
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