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xiangru000

金虫 (小有名气)

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Sciencer@jlu

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
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zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-21 10:27:59
xiangru000: 金币+1 2012-09-22 14:46:30
ICP和RIE都可以,不知道你用的离子源是什么,大功率的紫外灯也可以的
将今天做到最好
2楼2012-09-21 10:15:30
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xiangru000

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Sciencer@jlu at 2012-09-21 10:15:30
ICP和RIE都可以,不知道你用的离子源是什么,大功率的紫外灯也可以的

我用的是考夫曼离子源,一般情况下都是对氩气进行电离,现在想用氧气 只是不知道参数是什么比如气体通量还有压强,请问你知道吗?
3楼2012-09-21 10:31:40
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