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exciting1973

禁虫 (正式写手)

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11楼2012-10-01 23:48:03
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1009300574

金虫 (小有名气)

你好,请问哪里可以做电子束刻蚀?精度能达到多少?谢谢。。。。。。。
做最好的自己!
12楼2014-12-26 17:40:44
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1009300574

金虫 (小有名气)

内容已删除
做最好的自己!
13楼2014-12-26 17:42:54
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c.z.chang

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by quanten at 2012-09-21 18:34:08
PMMA是很好的负胶,不用寻找更好的胶,即使有更好的胶,你的机器达不到精度也是枉然,具体要做dose test, 大结构和小结构用不同的dose,ZEP也可以尝试,HSQ是正胶,这三种胶做到50nm没有问题,如果做不到,就要做d ...

PMMA是正胶
做最好的自己
14楼2015-07-31 11:36:30
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DragonZCLX

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by quanten at 2012-09-21 18:34:08
PMMA是很好的负胶,不用寻找更好的胶,即使有更好的胶,你的机器达不到精度也是枉然,具体要做dose test, 大结构和小结构用不同的dose,ZEP也可以尝试,HSQ是正胶,这三种胶做到50nm没有问题,如果做不到,就要做d ...

应该是PMMA是正胶,HSQ是负胶吧,正好说反了。
15楼2019-09-02 15:16:46
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