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exciting1973

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
11楼2012-10-01 23:48:03
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1009300574

金虫 (小有名气)
你好，请问哪里可以做电子束刻蚀？精度能达到多少？谢谢。。。。。。。
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做最好的自己！
12楼2014-12-26 17:40:44
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1009300574

金虫 (小有名气)
内容已删除
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做最好的自己！
13楼2014-12-26 17:42:54
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c.z.chang

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by quanten at 2012-09-21 18:34:08
PMMA是很好的负胶，不用寻找更好的胶，即使有更好的胶，你的机器达不到精度也是枉然，具体要做dose test， 大结构和小结构用不同的dose，ZEP也可以尝试，HSQ是正胶，这三种胶做到50nm没有问题，如果做不到，就要做d ...

PMMA是正胶
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做最好的自己
14楼2015-07-31 11:36:30
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DragonZCLX

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by quanten at 2012-09-21 18:34:08
PMMA是很好的负胶，不用寻找更好的胶，即使有更好的胶，你的机器达不到精度也是枉然，具体要做dose test， 大结构和小结构用不同的dose，ZEP也可以尝试，HSQ是正胶，这三种胶做到50nm没有问题，如果做不到，就要做d ...

应该是PMMA是正胶，HSQ是负胶吧，正好说反了。
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15楼2019-09-02 15:16:46
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