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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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bruce3600

银虫 (小有名气)

[求助] 分子束外延生长GaAs/AlGaAs HEMT的低迁移率问题

刚刚恢复了系统,迁移率总是提不上去。最好的一次,77k迁移率10万,室温5k。一般经常碰到室温下载流子浓度比低温下高的情况,比如77k下6E11,室温则到1E12的浓度,应该是缺陷密度较高。但是工艺是成熟工艺啊。非常上火。
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Abzero

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

楼主是那里啊,用的什么设备

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2012-09-23 09:41:36
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