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分子束外延生长GaAs/AlGaAs HEMT的低迁移率问题
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| 刚刚恢复了系统，迁移率总是提不上去。最好的一次，77k迁移率10万，室温5k。一般经常碰到室温下载流子浓度比低温下高的情况，比如77k下6E11，室温则到1E12的浓度，应该是缺陷密度较高。但是工艺是成熟工艺啊。非常上火。 |
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