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大气压非平衡放电等离子体源！！！
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请问常见的大气压非平衡放电等离子体源有几种？是不是分为激光、微波和高频啊？还有就是采用裸露金属电极结构的大气压射频辉光放电相比于DBD的优势在哪里？ [ Last edited by 华丽的飘过 on 2012-9-22 at 21:01 ] |
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2楼2012-09-13 00:49:19
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【答案】应助回帖
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还是就我知道的一点献丑了： 我不太清楚你说的常见的大气压非平衡等离子体源指的是等离子体源还是用来产生等离子体的电源，因为从你后面说的激光、微波和高频貌似是用来产生等离子体的几种常见方式，但不见得都是大气压非平衡等离子体。激光据我所知目前热点在于与物质相互作用在表面产生等离子体，如PLD薄膜沉积，但一般都在低气压下。还有就是直接研究表面等离子体，偏光学范畴。微波一般来说低气压下用的比较多，如微波ECR放电气压范围在0。1--1pa范围内。高频常见用在等离子体源中的是射频放电（13.56MHz）和中频（高于射频频率）。但目前主要也是用于低气压，大气压射频放电目前也是算一个研究热点吧。 采用裸露金属电极在大气压下采用大气压射频放电，如果（据我所知，挺难产生的）能产生辉光放电当然比DBD好啊，DBD不容易产生辉光，即使产生了电子温度肯定没有射频产生的高！ |
4楼2012-09-14 13:06:26
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5楼2012-09-14 16:12:47
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6楼2012-09-14 16:15:38
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