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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

[求助] 甩胶机电机主轴不转了

型号VTC-100,刚才转的好好地,转过硅片,CD,玻璃都没事。今天忽然主轴不动了。我担心是光刻胶堵塞了内腔或者主轴。一检查,真空泵是好的,电机主轴用手可以转动。所以问题应该出在电机上面。各位虫友有没有遇到过类似的情况,怎么解决的?

谢谢回帖~
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

引用回帖:
2楼: Originally posted by Sciencer@jlu at 2012-09-06 12:14:30
经常甩胶的话,胶很容易被真空泵进去,所以你可以用丙酮擦擦试一下

真空泵是工作的,硅片可以被吸住。而且也洗过了。现在我怀疑问题出在电机上,又不敢擅自拆开~不过还是谢谢你
3楼2012-09-07 10:38:50
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Sciencer@jlu

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
经常甩胶的话,胶很容易被真空泵进去,所以你可以用丙酮擦擦试一下
将今天做到最好
2楼2012-09-07 08:14:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
rooinlee: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-09-19 01:28:27
一般来说,这种情况要么是电机直接挂了,要么就是编码器坏了,或者控制器坏了。一般来说,好的匀胶机用的是伺服直流电机,电机好的时候,想用手把它转动还是挺困难的。你这个估计是杂牌中的杂牌,用的是步进电机,直接换一台吧。
国产的低端匀胶机,还是微电子所的好,别的杂牌千万别买,不可靠。
4楼2012-09-18 19:24:29
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

问题已经解决,是电机里面进了一部分光刻胶,在卡死的过程中少了保险丝。后来用手能把转开了,换了保险丝,好了,能用了。
5楼2012-09-25 03:46:55
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