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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 甩胶机电机主轴不转了
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

[求助] 甩胶机电机主轴不转了

型号VTC-100，刚才转的好好地，转过硅片，CD，玻璃都没事。今天忽然主轴不动了。我担心是光刻胶堵塞了内腔或者主轴。一检查，真空泵是好的，电机主轴用手可以转动。所以问题应该出在电机上面。各位虫友有没有遇到过类似的情况，怎么解决的？

谢谢回帖~
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1楼 2012-09-07 01:55:19
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Sciencer@jlu

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
经常甩胶的话，胶很容易被真空泵进去，所以你可以用丙酮擦擦试一下
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将今天做到最好
2楼2012-09-07 08:14:30
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主
引用回帖:
2楼: Originally posted by Sciencer@jlu at 2012-09-06 12:14:30
经常甩胶的话，胶很容易被真空泵进去，所以你可以用丙酮擦擦试一下

真空泵是工作的，硅片可以被吸住。而且也洗过了。现在我怀疑问题出在电机上，又不敢擅自拆开~不过还是谢谢你
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3楼2012-09-07 10:38:50
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
rooinlee: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-09-19 01:28:27
一般来说，这种情况要么是电机直接挂了，要么就是编码器坏了，或者控制器坏了。一般来说，好的匀胶机用的是伺服直流电机，电机好的时候，想用手把它转动还是挺困难的。你这个估计是杂牌中的杂牌，用的是步进电机，直接换一台吧。
国产的低端匀胶机，还是微电子所的好，别的杂牌千万别买，不可靠。
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4楼2012-09-18 19:24:29
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主
问题已经解决，是电机里面进了一部分光刻胶，在卡死的过程中少了保险丝。后来用手能把转开了，换了保险丝，好了，能用了。
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5楼2012-09-25 03:46:55
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