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甩胶机电机主轴不转了
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型号VTC-100，刚才转的好好地，转过硅片，CD，玻璃都没事。今天忽然主轴不动了。我担心是光刻胶堵塞了内腔或者主轴。一检查，真空泵是好的，电机主轴用手可以转动。所以问题应该出在电机上面。各位虫友有没有遇到过类似的情况，怎么解决的？ 谢谢回帖~ |
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