【答案】应助回帖

11楼2012-09-07 10:18:06

ycy181

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【答案】应助回帖

镀SiO2可以的，透明不导电，

有目标，才有动力。

12楼2012-09-07 10:20:47

bazhuayuyu

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引用回帖:

10楼: Originally posted by maxismgao at 2012-09-07 10:17:54
这么专业应该是找专门的厂商来加工的吧？...

很多实验时都有ALD，你可以打听打听

13楼2012-09-07 12:30:13

bazhuayuyu

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引用回帖:

13楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-09-07 12:30:13
很多实验时都有ALD，你可以打听打听...

另外，ALD沉积A2O3衬底温度也很低200左右就可以，不会对你的ITO电性能产生太多影响

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maxismgao

14楼2012-09-07 12:37:16

maxismgao

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引用回帖:

14楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-09-07 12:37:16
另外，ALD沉积A2O3衬底温度也很低200左右就可以，不会对你的ITO电性能产生太多影响...

实在是非常非常的感谢。。。！！！

15楼2012-09-10 08:50:07

flyingstarme

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7楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-09-06 21:51:18
电介质材料当然不导电，如果你怕击穿，最好用ALD沉积氧化铝，然后450退火...

我用AlD在Cu表面沉积氧化铝
还有在Cr表面沉积氧化铝
怎么都沉积不上去?

http://blog.sina.com.cn/flyingstarme

16楼2013-04-18 13:09:21

ujn_cxd

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2楼: Originally posted by Sciencer@jlu at 2012-09-06 16:02:37
ZnS,我用过的，可以，真空热蒸镀膜，20nm以上应该就可以

ZnS绝缘吗？

17楼2013-04-23 14:56:01