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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » ITO玻璃表面镀什么能使其绝缘？
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maxismgao

金虫 (小有名气)

[求助] ITO玻璃表面镀什么能使其绝缘？

小弟我想在ITO玻璃表面镀一层材料，能使表面绝缘，但是不影响ITO层的导电性。而且，尽量不要影响玻璃的透光性。不知道应该选择什么材料呢？希望各位达人指教！
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1楼 2012-09-06 15:59:15
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-07 08:04:51
maxismgao: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-09-07 10:18:38
Al2O3 SiNx SiOx SiC ZnO，电介质材料很多的，根据你的玻璃大小和拥有的实验条件选择合适的材料就行，另外每种材料需要的厚度不一样，有的材料可能需要退火提高薄膜质量，考虑到ITO可见光折射率为1.8，介质膜最好选用折射率小于1.8的
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maxismgao
3楼2012-09-06 17:18:50
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
maxismgao: 金币+3 2012-09-07 10:19:35
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-10 09:18:13
内容已删除
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7楼2012-09-06 21:51:18
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by maxismgao at 2012-09-07 10:17:54
这么专业应该是找专门的厂商来加工的吧？...

很多实验时都有ALD，你可以打听打听
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13楼2012-09-07 12:30:13
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-10 09:39:12
引用回帖:
13楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-09-07 12:30:13
很多实验时都有ALD，你可以打听打听...

另外，ALD沉积A2O3衬底温度也很低200左右就可以，不会对你的ITO电性能产生太多影响
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maxismgao
14楼2012-09-07 12:37:16
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