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求教国内能做stepper光刻的地方？
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| 最近做实验需要使用stepper做光刻，这个工艺只能用stepper光刻，原来的加工单位在搬家所以现在工艺都停下来了，希望找到另外做stepper光刻的地方，最好是分辨率在0.5um的stepper，谢谢啦！ |
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2楼2012-09-05 16:11:34
yswyx 
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3楼2012-09-18 19:25:21
