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switchman

新虫 (初入文坛)

[求助] 求教国内能做stepper光刻的地方?

最近做实验需要使用stepper做光刻,这个工艺只能用stepper光刻,原来的加工单位在搬家所以现在工艺都停下来了,希望找到另外做stepper光刻的地方,最好是分辨率在0.5um的stepper,谢谢啦!
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switchman

新虫 (初入文坛)

i线的,最好是ASML PAS 5000的
2楼2012-09-05 16:11:34
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