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jamie82木虫 (著名写手)
一三三
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[求助]
PVD与CVD方法沉积的SiO2、SiN膜层性能差异
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请问谁知道PVD方法与CVD方法沉积的SiO2薄膜性质上有何差异？主要想知道致密性、耐腐蚀性、应力之间有何差异。 另还想问一下能使用PVD方法制备SiN薄膜吗？其性能又与CVD方法沉积的薄膜差异怎样？ 请大侠不吝赐教   |
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