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氧化膜截面EBSD样品制备问题
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本人想做如图中黑色框区域的EBSD，氧化膜不导电，主要的区域为红色部分 试过很多方法，比如化学酸洗，氧化膜不腐蚀，酸洗后在氧化膜和基体部分会有下凹，主要是在冲洗过程中，酸残留在氧化膜和基体交界的角落里，冲洗不掉，导致此区域过度腐蚀，EBSD做不出来 其次是电化学，按理说电化学腐蚀的效果会很好，可是电化学有尖端放电，也就是说在靠近基体边缘，像氧化膜区域会腐蚀的更剧烈，导致氧化膜区域整体成一坡状，EBSD也做不了了 第三是振动抛光，用2000号砂纸磨过后采用振动抛光，据说振动抛光可以对任何样品进行抛光，可惜事与愿违，抛出来的样品的确很平整无划痕，可惜怎么也打不出花样，郁闷的 像离子抛光就不说了 可测范围太小直接忽略 补充一点：振动抛光的样品不仅打不出花样，还分不清氧化膜，所以需要氧化膜适当的高出一点点 看看有没有高手能够支个招  |
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csulxc 
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