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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 氧化膜截面EBSD样品制备问题
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zhiyu0801

银虫 (小有名气)

[求助] 氧化膜截面EBSD样品制备问题

本人想做如图中黑色框区域的EBSD，氧化膜不导电，主要的区域为红色部分
试过很多方法，比如化学酸洗，氧化膜不腐蚀，酸洗后在氧化膜和基体部分会有下凹，主要是在冲洗过程中，酸残留在氧化膜和基体交界的角落里，冲洗不掉，导致此区域过度腐蚀，EBSD做不出来
其次是电化学，按理说电化学腐蚀的效果会很好，可是电化学有尖端放电，也就是说在靠近基体边缘，像氧化膜区域会腐蚀的更剧烈，导致氧化膜区域整体成一坡状，EBSD也做不了了
第三是振动抛光，用2000号砂纸磨过后采用振动抛光，据说振动抛光可以对任何样品进行抛光，可惜事与愿违，抛出来的样品的确很平整无划痕，可惜怎么也打不出花样，郁闷的
像离子抛光就不说了 可测范围太小直接忽略

补充一点：振动抛光的样品不仅打不出花样，还分不清氧化膜，所以需要氧化膜适当的高出一点点

看看有没有高手能够支个招
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1楼 2012-08-26 22:10:22
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csulxc

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
建议你别做截面样品，你的样品不是有一层薄膜吗？去做表面样品即可，振动抛光或离子抛光皆可～
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2楼2012-08-28 08:42:25
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emotionengine

铜虫 (初入文坛)
你要多大啊，现在离子抛光面积已经很大了，300x300微米面积没有问题
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3楼2012-11-07 22:09:36
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匿名

银虫 (小有名气)
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4楼2018-04-29 11:07:19
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