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yinsumin

金虫 (著名写手)

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[求助] 晶体定向与加工

蓝宝石C面经过XRD定向仪定向后，如果被测面与标准C面存在角度偏差δ，则这个δ能不能通过相关公式转换成被测面与标准C面的偏移距离(单位可以是丝)，最好算出的结果能比百分表、千分表测出的要准。

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1楼 2012-08-21 16:33:03

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yinsumin

金虫 (著名写手)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by 柒彩光 at 2012-08-22 11:03:37
如果角度偏差δ相对较大的话(超过1度)，可以通过tanδ来计算调整距离；如果角度偏差较小的话，利用精度小于1度的角度尺应该可以达到想要的调整精度，也即此种方法还有很大的进步空间。我不清楚楼主是如何利用百分表 ...

1度有相关资料为依据么？定向的时候，中心的小面是最好的，所以百分表千分表测得是以小面为中心的晶棒周边倾斜高度。

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3楼2012-08-22 12:46:09

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柒彩光

银虫 (初入文坛)

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专业: 集成电路制造与封装

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yinsumin: 金币+5, ★有帮助 2012-08-22 12:46:17
linhua0402313: 金币+1, 恩，感谢回帖交流，欢迎常来晶体板块 2012-08-22 14:30:19

如果角度偏差δ相对较大的话(超过1度)，可以通过tanδ来计算调整距离；如果角度偏差较小的话，利用精度小于1度的角度尺应该可以达到想要的调整精度，也即此种方法还有很大的进步空间。我不清楚楼主是如何利用百分表和千分表测量的，所以也不能作一个详细的对比。

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2楼2012-08-22 11:03:37

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ujn_cxd

捐助贵宾 (正式写手)

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专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
yinsumin: 金币+5, 谢谢参与讨论，请问下你是怎么弄得么，可以交流下，我QQ534006383 2012-08-24 21:06:49

你XRD衍射峰是不是不是C面的啊，能不能把你的衍射图放上来看一下啊，这样不好解决，我弄过蓝宝石刚开始我也以为C面有问题，后来看了一下是晶体结构的事

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4楼2012-08-24 17:31:22

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hxmcg

铁虫 (初入文坛)

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专业: 人工晶体

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
yinsumin: 金币+5, ★有帮助 2012-09-28 20:23:36

你好，一般来说c向的测定使用XRD仪器来检测，虽然可能用数学公式算出偏移值，但是那微小的量不可能用人手来准确定位。所以会一直处于XRD仪器下，转动夹具中的晶体，确保度数在一定的范围内。
希望能帮到你。

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沧海横流方显英雄本色。

5楼2012-09-28 17:20:08

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