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小妞flora

木虫 (正式写手)

[求助] 化学气相沉积反应后的尾气成分?

求助:请问有哪位虫友是做C/C复合材料方面的研究,化学气相沉积CVD过程的尾气,一般是如何处理?如果想确定成分的话,可以采用哪种检测手段。谢谢!希望回答越详细越好。谢谢!
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期待,埋藏在心里;希望,蜇伏在脚下。走自己的路,这是挫折的预言!
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