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Nano-mse金虫 (小有名气)
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关于CVD压力计的问题
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各位虫友，在此请教，大家在CVD上用过何种压力计可以分别测量氩气，氢气以及氩-氢混合气的压强？听说MKS有这样的产品，但是太贵了，不知道有没有便宜一些的替代产品。 另外，想进一步咨询下，有些文献中说，实验时通入多少torr的气体；而另一些文献中说实验时保持管中压强为多少torr。这二者的区别就是前者的压力计接在了石英管入口处，而后者的压力计接在了石英管出口和真空泵之间吗？这两类情况哪个效果更好呢？ 非常感谢，期待大家的帮助与回复。 |
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