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dinosum

铁虫 (初入文坛)

[交流] 请问大家知道高温下硅在氮化硅里的扩散厉害吗??

谢谢大家的告知,谢谢!!
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dinosum

铁虫 (初入文坛)

我是想问的是在1100度的退火中,氮化硅里面的硅(离子注入的)会发生移动吗?原来的硅的分布会发生很大变化吗?还是说会像硅在二氧化硅里的退火中不大移动?
3楼2007-05-24 18:15:30
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主

你没有把"厉害"量化
从此不问江湖事
2楼2007-05-22 19:49:03
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