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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 请问大家知道高温下硅在氮化硅里的扩散厉害吗？？
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dinosum

铁虫 (初入文坛)

[交流] 请问大家知道高温下硅在氮化硅里的扩散厉害吗？？

谢谢大家的告知，谢谢！！
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1楼 2007-05-22 15:51:29
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
你没有把"厉害"量化
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从此不问江湖事
2楼2007-05-22 19:49:03
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dinosum

铁虫 (初入文坛)
我是想问的是在1100度的退火中，氮化硅里面的硅（离子注入的）会发生移动吗？原来的硅的分布会发生很大变化吗？还是说会像硅在二氧化硅里的退火中不大移动？
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3楼2007-05-24 18:15:30
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