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dinosum

铁虫 (初入文坛)

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[交流] 请问大家知道高温下硅在氮化硅里的扩散厉害吗？？

谢谢大家的告知，谢谢！！

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1楼 2007-05-22 15:51:29

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GrasaVampiro

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微信XGBerlin

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你没有把"厉害"量化

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从此不问江湖事

2楼2007-05-22 19:49:03

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dinosum

铁虫 (初入文坛)

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我是想问的是在1100度的退火中，氮化硅里面的硅（离子注入的）会发生移动吗？原来的硅的分布会发生很大变化吗？还是说会像硅在二氧化硅里的退火中不大移动？

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3楼2007-05-24 18:15:30

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