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huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄

[交流] 谁手里有关于sputter 和CVD技术方面的资料

找了一些,比较散,希望有一些综合一点的
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楼兰少女

金虫 (著名写手)



  楼兰少女专程拜访,祝您幸福开心顺利
2楼2007-08-12 21:11:02
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fuzp

铁杆木虫 (正式写手)

那就找本书吧。可以看看我发的资源帖"薄膜沉积技术的经典教材"
3楼2007-08-13 00:05:29
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chngyu_tom

金虫 (小有名气)

看你要哪个方面

改进化学气相沉积/ 微波等离子体化学气相沉积,呵呵,我有
4楼2007-09-02 12:57:37
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