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huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄

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专业: 有机高分子功能材料

[交流] 谁手里有关于sputter 和CVD技术方面的资料

找了一些，比较散，希望有一些综合一点的

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1楼 2007-05-19 13:46:32

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楼兰少女

金虫 (著名写手)

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楼兰少女专程拜访，祝您幸福开心顺利

2楼2007-08-12 21:11:02

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fuzp

铁杆木虫 (正式写手)

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那就找本书吧。可以看看我发的资源帖"薄膜沉积技术的经典教材"

3楼2007-08-13 00:05:29

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chngyu_tom

金虫 (小有名气)

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专业: 光子与光电子器件

看你要哪个方面

改进化学气相沉积/ 微波等离子体化学气相沉积，呵呵，我有

4楼2007-09-02 12:57:37

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