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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » TMAH能腐蚀掉PSG或者多晶硅中的任何一种吗
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lekie9876

铜虫 (初入文坛)

[求助] TMAH能腐蚀掉PSG或者多晶硅中的任何一种吗

用PSG或者多晶硅做牺牲层材料，请问TMAH能腐蚀掉其中的任何一种吗？
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科研适合我么
1楼 2012-07-26 11:40:29
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highpy

木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

TMAH刻多晶硅應該沒有甚麼問題，
刻PSG應該刻不動，
沒有這個能力，
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2楼2012-09-02 19:38:17
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