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lekie9876

铜虫 (初入文坛)

[求助] TMAH能腐蚀掉PSG或者多晶硅中的任何一种吗

用PSG或者多晶硅做牺牲层材料,请问TMAH能腐蚀掉其中的任何一种吗?
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科研适合我么
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highpy

木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

TMAH刻多晶硅應該沒有甚麼問題,
刻PSG應該刻不動,
沒有這個能力,
2楼2012-09-02 19:38:17
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