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diamondfire

木虫 (正式写手)

[交流] 请教关于sol-gel旋涂工艺的问题

本人最近正在做PZT薄膜的制备,方法是在10x10的Pt/Ti/SiO2/Si片上旋涂PZT溶胶。
但是最近实验中总是发现旋涂镀膜在硅片的四角上镀不上膜,请教这是什么原因?应当如何处理改善薄膜的均匀程度。
注:本人所用的旋涂机有两档转速调节。

[ Last edited by diamondfire on 2007-5-16 at 20:02 ]
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再烦,也别忘微笑;再急,也要注意语气;再苦,也别忘坚持;再累,也要爱自己。低调做人,你会一次比一次稳健;高调做事,你会一次比一次优秀。
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diamondfire

木虫 (正式写手)

谢谢。
我之前还以为是我的旋涂工艺有问题呢。
看来是胶没配好。。。。。
Zr盐很容易水解,是不是这方面的原因。
再烦,也别忘微笑;再急,也要注意语气;再苦,也别忘坚持;再累,也要爱自己。低调做人,你会一次比一次稳健;高调做事,你会一次比一次优秀。
3楼2007-05-16 22:29:00
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silveruranus

铁虫 (正式写手)

溶液问题,与旋涂无关。。。
2楼2007-05-16 22:04:00
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